窄带滤波，再取突破！

随着电磁环境的复杂化和微波电路的多功能化，干扰信号越来越多，系统对滤波器的要求也越来越高。其中，保密通信、电子对抗领域要求抗干扰能力强，对滤波器要求必须是极窄的带宽。
在众多滤波器中，声表面波滤波器以体积小的巨大优势脱颖而出，在各个领域获得了广泛应用。通过建模仿真、结构优化，微电公司设计了多款0.1%以内的高性能声表面波滤波器，虽然带宽能够满足系统需求，但在进行全温测试时，由于压电材料的温度特性使滤波器在高低温工作环境下标称频率偏出通带引起了插入损耗急剧恶化，无法满足整机要求。
很多重要用户对具有优良温度稳定性的极窄带声表滤波器提出了强烈的应用需求，针对该问题，公司设立课题进行专题研究。
一般来说，声表滤波器设计会面临一个难题，带宽越宽，温漂系数越大。对于极窄带滤波器来说，一阶温度系数为0，通常只具有二阶温度系数甚至只有三阶温度系数，温漂系数已经很小，但是温漂带宽往往也大于滤波器带宽，需进一步减小温漂系数。为解决这个矛盾，需要对压电材料、切向、设计结构、工艺参数、粘接材料等进行精心设计，特定的情况下还需要进行多层压电材料的温度补偿，才能实现0.1%以下的带宽范围内极小的温漂系数。
课题组从压电材料特性、压电基片切型、金属膜参数、换能器及反射栅结构、粘接胶等方面入手，通过建模仿真、实验验证等手段建立了影响温漂系数因素的多维参数数据库；同时对多维参数进行数值拟合和非线性优化搜索，经过计算机上亿次迭代运算，找到了温漂系数最小的五种方案；前后共进行了33次工艺流片，并对试验结果进行分析，进而修正数据库结果，如此反复，确定了最终的设计方案和工艺参数。方案涉及21个设计参量和38个工艺控制点。
经过设计人员和工艺人员近一年的努力攻关，我公司研制的极窄带滤波器在-55℃-85℃的温漂系数实现了<200ppm的目标，同时实现1dB带宽0.06%（600ppm），插入损耗3dB，通带波动0.5dB，带外抑制50dB，达到了极窄带滤波器的国际先进水平。